• TRGS Labor mit Laborarbeitsplätzen inkl. Medienversorgung und Digestorium
• Minimill Mikofräse
• Vision Lynx Mikroskop
• Glovebox mit Stickstoffatmosphäre
• Gelblichtausstattung/Verdunkelung zur Arbeit mit Fotolacken
• Flowbox
• SpinCoater
• Waverprober mit Justagemikroskop und 2 Kanal SMU
• Plasmabeschichtungsanlage (Typ xxx)
• Dünnfilmbeschichtungsanlage (Elektronenstrahl und Sputterprozess)
 (Typ BAL Tec Med 20, Prof. Dr. Marvin Kaminski)
• Sauerstoffplasmaanlage zur Reinigung und Aktivierung von Oberflächen
• Temperierbarer Vakuumofen
• Substratreinigung
• Feinwaage
• Süss Maskaligner (Typ xxx, Prof. Dr. Marvin Kaminski)

Mikrotechnische Bauteile werden im industriellen Maßstab in einer hochspezialisierten Fabrik in hohem Automatisierungsgrad hergestellt. Die Herstellung einzelner einfacher Bauelemente oder Funktionsgruppen kann auch im kleinen Labormaßstab einer Hochschule realisiert werden. Dazu stellt dieses Labor ein Portfolio an Geräten bereit, die für die Herstellung notwendig sind.

• Reinigung und Konditionierung der Substrate 
• Fotolithographie
• Beschichtungen, insbs. Edelmetalle

Studierende planen und entwerfen im Laufe des Semesters ein Bauteilkonzept und haben die Möglichkeit ihre Kompetenzen im Bereich CAD, mechanische Fertigung, (Halbleiter-)Prozessierung, Betrieb und Ansteuerung zu vertiefen.

Eine Form von miniaturisierten Analysesystemen stellen sogenannte Lab-on-chip Systeme da, bei dem verschiedene Funktionen eines Labors auf einem tragbaren Substrat realisiert werden. Basismaterial für solche Systeme können kostengünstige Kunststoffsubstrate sein, die insbesondere für medizinische Anwendungen als Einwegprodukt (single-use device) sinnvoll sind. Konzepte für mikrofluidische Systeme zur Analyse von Spurenstoffen werden entwickelt und im Labor realisiert. Zusätzlich zur vorhandenen apparativen Infrastruktur aus dem Bereich der Halbleitertechnik nutzen wir Mikrofräsen und generative Verfahren zur Erzeugung der mikrofluidischen Strukturen.